EON体育4平台電子束光刻系統機臺采購項目公開招標公告
2024年11月21日 15:45 來源： 【打印】
公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采購項目名稱 | 電子束光刻系統機臺采購項目 | ||
| 品目 | 貨物/設備/電子和通信測量儀器/其他電子和通信測量儀器 | ||
| 采購單位 | EON体育4平台 | ||
| 行政區域 | 上海市 | 公告時間 | 2024年11月21日 15:45 |
| 獲取招標文件時間 | 2024年11月21日至2024年11月28日 每日上午:9:00 至 12:00 下午:12:00 至 17:00（北京時間，法定節假日除外） | ||
| 招標文件售價 | ￥0 | ||
| 獲取招標文件的地點 | EON体育4平台采購與招標管理中心網站（網址🏃➡️🙅🏽♂️：https://czzx.fudan.edu.cn） | ||
| 開標時間 | 2024年12月12日 09:30 | ||
| 開標地點 | 1👩🏻🦯、投標人應在投標截止時間之前按電子采購平臺的操作步驟對其投標文件進行加密後遞交（上傳）至電子采購平臺🏇🏿。 2🍣、開標程序在電子采購平臺進行，所有投標人應登錄電子采購平臺參加開標並在規定時間內進行投標文件解密🧜🏼。 | ||
| 預算金額 | ￥1000.000000萬元（人民幣） | ||
| 聯系人及聯系方式： | |||
| 項目聯系人 | 劉韻、樓瑩雯 | ||
| 項目聯系電話 | 021-63230480轉8615、8628 | ||
| 采購單位 | EON体育4平台 | ||
| 采購單位地址 | 上海邯鄲路220號 | ||
| 采購單位聯系方式 | 張老師 021-65641292 | ||
| 代理機構名稱 | 上海東松醫療科技股份有限公司 | ||
| 代理機構地址 | 上海市寧波路1號11樓 | ||
| 代理機構聯系方式 | 劉韻、樓瑩雯 021-63230480轉8615👰🏽♂️、8628 | ||
項目概況
電子束光刻系統機臺采購項目 招標項目的潛在投標人應在EON体育4平台采購與招標管理中心網站（網址：https://czzx.fudan.edu.cn）獲取招標文件👩🏻🎤，並於2024年12月12日 09點30分（北京時間）前遞交投標文件🔚。
一🛻、項目基本情況
項目編號：HW2024111302
項目名稱🦴：電子束光刻系統機臺采購項目
預算金額：1000.000000 萬元（人民幣）
最高限價（如有）：1000.000000 萬元（人民幣）
采購需求🤽🏼♂️：
| 包件號 | 01 |
| 采購貨物 | 電子束光刻系統機臺 |
| 數量 | 1套 |
| 用途和主要規格參數 | 1.單束電子束的曝光分辨率 ≤10nm@30 kV🙏🏿； 2.單束電子束束流大小調節範圍至少包括0.01 nA至350 nA👉🏻； 3.加速電壓調節範圍至少包括0.1 kV～30 kV可調； 4.支持樣品尺寸≥4 英寸； 5.可設定寫場範圍至少支持在以下範圍內可調：0.5 μm×0.5 μm～1 mm×1 mm； 6.配備五維（XYZ方向+旋轉+傾斜）納米步進運動臺🤾，步進精度≤1 nm🦪； 7.納米步進運動臺移動範圍至少包括-60 mm～+60 mm，最大運動速度可達20 mm/s或更優♿️； 8.樣品腔室真空度≤2.0×10-4 Pa🔟；電子槍腔室真空度≤2.0×10-7 Pa📈🤑； 9.配備20路可同時輸出直流穩壓驅動電源🚣🦻🏼：輸出電壓至少包括0 ～±30 kV連續可調，紋波電壓小於最大額定輸出電壓的10ppm🙂↕️； 10.圖形發生裝置🔫： （1）配備12通道圖形編解碼器、數據收集和控製系統，掃描頻率不低於25 MHz； （2）圖形發生裝置：可用於像素自由選址的頻率不低於25 MHz，支持修正寫場的平移💆🏽♂️🏄🏽、傾斜🤱🏻、旋轉等畸變📥🧑🚒； 11.電子光學鏡筒：滿足內徑大於等於10 mm👷🏿，支持多電子束曝光功能拓展🐰。 |
| 預算金額 | 人民幣1000萬元 |
| 最高限價 | 人民幣1000萬元 |
| 合同履約期限 | 2025年6月30日前完成交付 |
| 交貨地點 | EON体育4平台新建江灣校區一號交叉學科樓 |
| 本項目是否專門面向中小微型企業采購 | 本項目不屬於專門面向中小微企業采購的項目 |
| 中小微型企業劃分標準所屬行業 | 工業 |
| 其他 | 本項目僅接受國產產品投標，不接受進口產品投標 |
合同履行期限：2025年6月30日前完成交付
本項目( 不接受 )聯合體投標🤼♀️。
二🥓、申請人的資格要求✍️：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
本次招標執行政府強製或優先采購節能和環境標誌產品💁🏽、促進中小微型企業🧓🏽👐🏼、促進殘疾人就業🙇🏽♀️、支持監獄和戒毒企業、扶持不發達地區和少數民族地區、支持科學進步以及限製采購進口產品等相關政策⛵️。
3.本項目的特定資格要求：1、符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條第一款的規定👳🏽。為此🤦🏽♀️🗳，投標人應按《中華人民共和國政府采購法實施條例》第十七條第一款的規定在投標文件中提供下列證明材料🧶：（a）法人或者其他組織的營業執照等證明文件🔙，自然人的身份證明；（b）財務狀況報告、依法繳納稅收和社會保障資金的相關材料或聲明函；（c）具備履行合同所必需的設備和專業技術能力的證明材料；（d）參加政府采購活動前三年（2021年11月1日至今，以下簡稱“近三年”或“前三年”）內在經營活動中沒有重大違法記錄的書面聲明。2、近三年未被國家財政部指定的“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）、中國政府采購網（www.ccgp.gov.cn）等官方渠道列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人名單或政府采購嚴重違法失信名單。3、法人的分支機構以自己的名義參與投標時🧑🏿🎓🧝🏼♂️，應提供由法人出具的對本投標活動承擔全部直接責任的承諾。4🏊🏿♀️、本項目不接受聯合體投標。5、單位負責人為同一人或者存在直接控股或管理關系的不同單位，不得參加同一包件的投標或者未劃分包件的同一招標項目的投標。6、投標人應未曾為采購人在本招標合同項下擬采購的貨物提供設計、編製采購需求或者提供項目管理🐒、監理、檢測等服務👍。
三🤾🏼♀️、獲取招標文件
時間：2024年11月21日 至 2024年11月28日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00👩🏻🦽➡️。（北京時間，法定節假日除外）
地點：EON体育4平台采購與招標管理中心網站（網址👨🏿🎨：https://czzx.fudan.edu.cn）
方式🤟🏽：通過EON体育4平台采購與招標管理中心網站（網址🧔🏽♂️：https://czzx.fudan.edu.cn）點擊“校外用戶登錄”🧰🧑🏻🎨，進入EON体育4平台采購與招標管理系統後🦹🏼♂️，在“正在進行的項目”版塊中查看項目進入在線獲取招標文件流程並下載電子招標文件，電子招標文件售價零元🤸♀️，逾期不再辦理3️⃣🫶🏻。未按規定獲取招標文件的潛在投標人將不得參加投標。招標文件獲取階段無資格審核流程，若電子采購平臺顯示有的也將直接通過🐝。註：投標人應授權一名聯系人處理投標截止時間之前的聯系工作，並對應上傳供應商聯系人授權（格式自擬）。
售價🐩：￥0.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間🪳：2024年12月12日 09點30分（北京時間）
開標時間🍗：2024年12月12日 09點30分（北京時間）
地點：1🏌🏻♂️、投標人應在投標截止時間之前按電子采購平臺的操作步驟對其投標文件進行加密後遞交（上傳）至電子采購平臺。2🤳🏽、開標程序在電子采購平臺進行👩🏽🎨，所有投標人應登錄電子采購平臺參加開標並在規定時間內進行投標文件解密。
五👌🏼、公告期限
自本公告發布之日起5個工作日🔸。
六、其他補充事宜
1🏊🏽♀️、項目編號：0811-DSITC243510/ HW2024111302
2、本項目采用電子招標方式，並在電子采購平臺（EON体育4平台采購與招標管理系統，網址為：https://cz.fudan.edu.cn）操作，進入平臺後👵🏼，供應商可在系統通知欄目下載供應商投標操作手冊。電子采購平臺技術咨詢電話：400-808-5975轉2。
七、對本次招標提出詢問🍮，請按以下方式聯系。
1.采購人信息
名 稱🦇：EON体育4平台
地址🚶🏻：上海邯鄲路220號
聯系方式🧍🏻：張老師 021-65641292
2.采購代理機構信息
名 稱：上海東松醫療科技股份有限公司
地 址：上海市寧波路1號11樓
聯系方式🛃：劉韻🚵🏿♂️、樓瑩雯 021-63230480轉8615、8628
3.項目聯系方式
項目聯系人🫕：劉韻、樓瑩雯
電 話👨🏿💼： 021-63230480轉8615、8628
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